Klient Background
Fabless firma półprzewodnikowa outsourcing jego zaawansowane węzeł produkcji chipów.Ich istniejący pokój czysty nie mógł spełnić rygorystycznych wymogów wibracji i czystości powietrza dla litografii zanurzenia 193nm, powodując utratę plonów.
Potrzeby i wyzwania
·Klasa ISO 5 (klasa 100) na powierzchni płytki.
·Ścisła kontrola temperatury: 22 ± 0,1°C w całym oddziale fotolitografii.
·Krótki czas przerwy: Tylko 1 miesiąc dostępny do modernizacji istniejącej komory.
Rozwiązanie
·Projektowanie mini środowiska: Izolacja krokówki z jednostkami filtrów wentylatorów (FFU) oraz filtrami chemicznymi do AMC.
·Aktywna izolacja wibracyjna: Betonowy blok inercyjny + izolatory pneumatyczne spełniające kryteria VC-D.
·Wysokiej dokładności system HVAC: podwójne pętle wody chłodzonej z podgrzewaniem oraz terminale zmiennej objętości powietrza (VAV).
·Płyty prefabrykowane: Płyty ze stali nierdzewnej wytwarzane poza obiektem z złączami z blokadą podgórną.
![]()
![]()
Odpowiedzi klientów
Yaning rozumiał nasze wymagania w zakresie narzędzi lepiej niż inni wykonawcy.
¢ Kierownik zakładu, klient półprzewodników
Podsumowanie
Yaning specjalizuje się w dziedzinie inżynierii czystych pomieszczeń.Nasze rozwiązania modułowe stanowią idealny wybór dla czystych stref produkcyjnych w sektorze produkcyjnym.